8月5日,晶升股份官微宣布成功開(kāi)發(fā)出新一代SCML320A系列水平式8英寸碳化硅外延爐。
圖片來(lái)源:晶升股份
據(jù)了解,晶升股份SCML320A碳化硅外延爐生長(zhǎng)速率≥60μm/h,膜厚均勻性<1%,摻雜均勻性<2%,指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。此外,還支持N/P兩種摻雜類(lèi)型,可以滿(mǎn)足不...  [詳內(nèi)文]
晶升股份推出SCML320A碳化硅外延爐 |
作者
KikiWang
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發(fā)布日期:
2025 年 08 月 06 日 14:05
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關(guān)鍵字:
SiC碳化硅
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