近期，河北省工業(yè)和信息化廳發(fā)布《關(guān)于2025年第三代半導(dǎo)體、新型顯示產(chǎn)業(yè)擬支持項目的公示》，重點聚焦碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）等高端材料領(lǐng)域，通過財政補貼、產(chǎn)能扶持與產(chǎn)學(xué)研協(xié)同等方式，推動國內(nèi)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
公示的名單中，涉及碳化硅/氮化鎵領(lǐng)域的企業(yè)如下：
河北同光半導(dǎo)體股份有限公司：主要從事碳化硅單晶的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，是國內(nèi)較早從事第三代半導(dǎo)體碳化硅襯底研發(fā)與生產(chǎn)的企業(yè)之一。作為河北省重點扶持的第三代半導(dǎo)體企業(yè)，同光半導(dǎo)體專注于碳化硅（SiC）單晶襯底研發(fā)與生產(chǎn)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于新能源車、5G通信、智能電網(wǎng)等領(lǐng)域。同時，該公司依托中科院技術(shù)團隊，突破國外技術(shù)壟斷，已建成國內(nèi)領(lǐng)先的SiC量產(chǎn)線，客戶覆蓋頭部企業(yè)，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控。
河北普興電子科技股份有限公司：致力于半導(dǎo)體材料的外延業(yè)務(wù)，在碳化硅外延片等方面有相關(guān)技術(shù)和產(chǎn)品，為碳化硅器件制造提供關(guān)鍵材料。
中國電子科技集團公司第十三研究所：在半導(dǎo)體領(lǐng)域有廣泛研究，在氮化鎵等第三代半導(dǎo)體材料和器件的研發(fā)與生產(chǎn)方面具有深厚的技術(shù)積累和產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)。
圖片來源：河北省工業(yè)和信息化廳公示截圖
在全球科技競爭浪潮中，第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵領(lǐng)域，正引發(fā)廣泛關(guān)注。河北省積極把握這一科技變革機遇，在第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域精準發(fā)力，展現(xiàn)出強勁的發(fā)展態(tài)勢與廣闊前景。
產(chǎn)業(yè)布局上，河北正加速構(gòu)建完整產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)。
材料生產(chǎn)環(huán)節(jié)，河北同光、普興電子等企業(yè)形成集群優(yōu)勢，其生產(chǎn)的碳化硅襯底和外延片不僅滿足省內(nèi)需求，還積極拓展國內(nèi)外市場。
器件制造與應(yīng)用領(lǐng)域同樣發(fā)展迅速，一批新興企業(yè)踴躍投身功率器件、射頻器件等產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于新能源汽車、5G通信、智能電網(wǎng)等新興領(lǐng)域。
設(shè)備領(lǐng)域，河北今年也取得了關(guān)鍵進展。今年5月河北晶馳機電有限公司舉行了河北省首臺（套）12寸電阻法高純碳化硅晶體生長爐交付儀式。
晶馳機電此次交付的12寸電阻法高純碳化硅晶體生長爐采用了電阻式物理氣相傳輸（PVT）方法，通過創(chuàng)新的結(jié)構(gòu)和熱場設(shè)計，結(jié)合先進的過程控制理論和自動化控制方法，實現(xiàn)了均勻的徑向溫度和寬范圍精準可調(diào)的軸向溫度梯度。這種設(shè)計使得設(shè)備能夠精準控制長晶過程中的工藝參數(shù)，并實現(xiàn)高度智能化運行。消息顯示，該設(shè)備能夠無縫“一鍵切換”生產(chǎn)8英寸和12英寸的碳化硅單晶，大大提高了設(shè)備的靈活性和生產(chǎn)效率。
資料顯示，2024年年末，晶馳機電在河北石家莊建成了一個半導(dǎo)體材料研發(fā)生產(chǎn)項目，并于同年11月初投產(chǎn)。該項目總投資2億元，占地約50.26畝，總建筑面積約20000平方米，分兩期建設(shè)，一期建設(shè)計劃時間為2025年—2026年。該項目以金剛石設(shè)備與碳化硅外延設(shè)備為產(chǎn)品核心，致力于推動我國半導(dǎo)體材料裝備的自主創(chuàng)新發(fā)展。
除此之外，河北產(chǎn)學(xué)研合作不斷深化，科研機構(gòu)、高校與企業(yè)緊密聯(lián)動，加速科技成果轉(zhuǎn)化應(yīng)用，產(chǎn)業(yè)協(xié)同發(fā)展格局逐步形成。
以上因素推動之下，河北第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正蓬勃發(fā)展，未來可期。
（集邦化合物半導(dǎo)體 秦妍 整理）
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