近期，大眾日報報道#艾恩半導體?自主研發(fā)制造的第一代碳化硅離子注入機已經推向市場，正由芯片制造廠商進行驗證。
除已推向市場的第一代碳化硅離子注入機外，艾恩半導體對標國際領先技術水平的第二代碳化硅離子注入機目前正在緊鑼密鼓的研發(fā)過程中，有望于今年9月面市。今年6月，該公司還將推出一款硅基中束流離子注入機。
除此之外，由艾恩半導體自主研發(fā)制造的碳化硅大束流離子注入機，預計將于今年年底推向市場，有望填補國產設備在這一領域的空白。
資料顯示，離子注入機是芯片制造領域僅次于光刻工藝的重要環(huán)節(jié)，其注入效果決定了芯片內部結構器件最基本、最核心的電學性能，對第三代半導體產業(yè)發(fā)展至關重要。
由于技術復雜度高、驗證周期長的特點，長期以來離子注入機被國外大廠壟斷，國產化率極低，國內半導體廠商極易被“卡脖子”。這一背景下，近年國內半導體設備廠商積極瞄準該領域發(fā)展。
艾恩半導體專注于芯片制造核心設備——離子注入機研發(fā)、制造，2024年年底，在其天使投資人——魯信集團直管企業(yè)魯信創(chuàng)投的“牽線搭橋”下，艾恩半導體將公司總部遷入山東、落地濟南高新區(qū)。
source：艾恩半導體
據悉，魯信創(chuàng)投在艾恩半導體成立之初便進行投資孵化，積極通過招商引資助其落戶山東，將有效補強山東第三代半導體產業(yè)鏈，充分發(fā)揮承上啟下作用，促進產業(yè)鏈上下游、大中小企業(yè)緊密配套、融通發(fā)展，打造空間集聚、功能關聯(lián)的第三代半導體產業(yè)集群，助力國產離子注入機供應鏈自主可控盡快成為現(xiàn)實。
山東作為中國工業(yè)大省，正加速布局第三代半導體產業(yè)。山東已將第三代半導體產業(yè)納入新材料產業(yè)科技創(chuàng)新行動計劃核心板塊，明確提出實施“標志性產業(yè)鏈戰(zhàn)略材料攻堅行動”。
目前，山東已形成涵蓋襯底材料、外延生長、芯片設計、器件制造到封裝測試的完整產業(yè)鏈，涌現(xiàn)出山東天岳、山東晶鎵、艾恩半導體等眾多知名企業(yè)。
區(qū)域布局上，濟南依托國家集成電路設計產業(yè)化基地，聚焦碳化硅基功率半導體器件生產，打造國際先進產業(yè)基地；青島發(fā)揮整機應用優(yōu)勢，形成從材料到封測的完整產業(yè)鏈；濟寧強化上游材料基礎，濰坊布局研發(fā)創(chuàng)新，其他地市差異化協(xié)同發(fā)展。
其中，濟南近期發(fā)布《2025年國民經濟和社會發(fā)展計劃》，提出要加快培育產業(yè)新動能，打造第三代半導體產業(yè)高地，加快推進山東中晶芯源碳化硅單晶和襯底項目、山東天岳碳化硅材料產業(yè)化項目建設，加大碳化硅上下游領域布局力度，爭取集成電路關鍵材料和第三代半導體項目獲得國家支持。