涉及SiC邊緣環(huán),上海臨港新片區(qū)50億元項(xiàng)目開工

作者 | 發(fā)布日期 2026 年 01 月 23 日 15:51 | 分類 碳化硅SiC

1月22日,臨港新片區(qū)2026年一月份重點(diǎn)項(xiàng)目開工和投用儀舉行。2026年1月,臨港新片區(qū)開工、落成、投用項(xiàng)目共15個,項(xiàng)目涵蓋產(chǎn)業(yè)、綜保、商文體旅、社會民生、生態(tài)綠化、水務(wù)水利等多個領(lǐng)域,新開工項(xiàng)目總投資約136億元。

其中,位于臨港新片區(qū)東方芯港地塊的“半導(dǎo)體核心零部件及系統(tǒng)項(xiàng)目”正式開工。該項(xiàng)目由上海#元創(chuàng)科芯半導(dǎo)體 有限公司投資50億元,占地約108畝,總建筑面積15萬平方米。

該項(xiàng)目計劃用18個月建成投產(chǎn),投產(chǎn)后3年達(dá)產(chǎn),達(dá)產(chǎn)后可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值約93.5億元 。項(xiàng)目主要建設(shè)MFC(氣體質(zhì)量流量控制器)、氣柜、氣體工程以及真空計、電源、靜電卡盤、SiC邊緣環(huán)、泵閥、精密量測、科學(xué)儀器、泛半導(dǎo)體特殊零部件等標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)線。

該項(xiàng)目單位母公司系先導(dǎo)科技集團(tuán),資料顯示,先導(dǎo)科技集團(tuán)于1995年開始涉足稀散金屬行業(yè),2003年在廣東清遠(yuǎn)正式成立,其半導(dǎo)體科技事業(yè)部在一至四代半導(dǎo)體領(lǐng)域均有布局,擁有完整的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝及提純技術(shù),具備從材料、襯底、外延、到芯片、器件、模組的生產(chǎn)能力。據(jù)介紹,此次在臨港新開工的項(xiàng)目將助力提升我國半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率。

(集邦化合物半導(dǎo)體整理)

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