近期，晟光硅研成功應(yīng)用水導(dǎo)激光加工技術(shù)，對12英寸超大尺寸碳化硅晶錠實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量、高效率的精密加工，具備應(yīng)對超厚材料能力強(qiáng)、加工質(zhì)量卓越、適用于大尺寸工件、環(huán)保與高效等特點(diǎn)，未來有望提升襯底制備能力、降低綜合成本，為我國第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控與高質(zhì)量發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)能。
圖片來源：晟光硅研
晟光硅研介紹，采用公司穩(wěn)定的五軸水導(dǎo)激光設(shè)備，匹配成熟的工藝參數(shù)對該12英寸碳化硅晶錠進(jìn)行滾圓，加工尺寸精度高，切割面光滑，外觀完整無明顯缺陷。加工后晶錠直徑為295.16mm，深度為35.74mm。
高壓穩(wěn)定的水束能夠穿透較深的切割或加工區(qū)域，有效將激光能量傳遞至厚晶錠的內(nèi)部，實(shí)現(xiàn)對超厚碳化硅材料的連續(xù)、穩(wěn)定切割或結(jié)構(gòu)化加工，突破了傳統(tǒng)激光在厚材加工中易出現(xiàn)的錐度大、底部熔渣多等局限。
水流的實(shí)時(shí)冷卻極大地減少了熱應(yīng)力積累和熱損傷，有效防止了碳化硅這種脆性材料在加工過程中因熱沖擊產(chǎn)生的裂紋、微崩缺等缺陷。加工表面光滑，側(cè)壁垂直度高，邊緣完整性好，顯著降低了后續(xù)精加工的負(fù)擔(dān)和材料損耗，這對于昂貴的碳化硅材料至關(guān)重要。
水導(dǎo)激光加工頭靈活，運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)適應(yīng)性廣，能夠從容應(yīng)對12英寸大尺寸晶錠的全面積、多維度加工需求，無論是晶錠外圓整形、基準(zhǔn)面加工，還是內(nèi)部的復(fù)雜結(jié)構(gòu)切割，都能實(shí)現(xiàn)高精度操控。
加工過程中無粉塵，水流帶走碎屑，工作環(huán)境清潔；相比某些干式激光加工或純機(jī)械加工，其綜合加工效率更高，尤其在進(jìn)行深切割或復(fù)雜形狀加工時(shí)優(yōu)勢明顯。
晟光硅研水導(dǎo)激光加工技術(shù)，已實(shí)現(xiàn)從6英寸、8英寸到12英寸的技術(shù)突破，目前已進(jìn)入小批量加工階段。
（集邦化合物半導(dǎo)體整理）
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