近日，西湖儀器（杭州）技術有限公司宣布（以下簡稱“西湖儀器”），其產(chǎn)品演示中心已建成并投入試運行。
圖片來源：西湖儀器
該中心是一個集8英寸碳化硅激光剝離自動化生產(chǎn)線與大尺寸碳化硅襯底加工驗證于一體的綜合平臺，具備前沿技術與產(chǎn)品的驗證能力，是推動激光剝離技術從“工藝可行”邁向“量產(chǎn)好用”的關鍵載體。這種“量產(chǎn)演示”與“前沿驗證”相結合的布局，使該中心能夠為客戶提供從工藝導入到量產(chǎn)決策的全方位支持。
作為產(chǎn)品演示中心的核心，8英寸碳化硅激光剝離自動化生產(chǎn)線實現(xiàn)了從“從錠到片”的全流程自動化、無人化操作，是滿足當前市場主流需求、實現(xiàn)降本增效的產(chǎn)業(yè)化利器。該驗證線年產(chǎn)超過20,000片8英寸襯底，模塊化設計支持產(chǎn)能靈活調配，能夠為客戶提供多層次全方位的驗證數(shù)據(jù)。
大尺寸碳化硅激光剝離工藝驗證線，主要服務于12英寸碳化硅襯底的新技術工藝和產(chǎn)品驗證，具備年產(chǎn)超過10,000片12英寸襯底的處理能力，同時滿足各類非標大尺寸籽晶加工需求。其核心任務是攻克大尺寸工藝難題、開展技術前瞻性研發(fā)，為下一代大尺寸襯底加工提供技術儲備與解決方案。
（集邦化合物半導體整理）
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