深圳特區(qū)報(bào)近日?qǐng)?bào)道，深圳市納設(shè)智能裝備股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“納設(shè)智能”）在碳化硅裝備技術(shù)上取得了突破。
當(dāng)前碳化硅憑借優(yōu)異性能在新能源汽車(chē)、智能電網(wǎng)等下游領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大應(yīng)用潛力，然而應(yīng)用于碳化硅材料生產(chǎn)核心環(huán)節(jié)的外延設(shè)備其國(guó)產(chǎn)化之路卻面臨諸多阻礙，高溫沉積均勻性設(shè)備穩(wěn)定性等核心技術(shù)長(zhǎng)期受制于人。
面對(duì)困境，納設(shè)智能創(chuàng)始人陳炳安帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)可獨(dú)立控制的多區(qū)進(jìn)氣系統(tǒng)，顯著提升了設(shè)備工藝的均勻性，并通過(guò)與深圳先進(jìn)院成立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室成功將碳化硅外延設(shè)備工藝良率提升至98%。
針對(duì)進(jìn)口碳化硅外延設(shè)備耗材成本高、維護(hù)復(fù)雜的痛點(diǎn)，納設(shè)智能推出創(chuàng)新的反應(yīng)腔室設(shè)計(jì)，使耗材成本降低30%，同時(shí)大幅降低維護(hù)難度。
數(shù)年間，陳炳安帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)攻克技術(shù)壁壘成功研發(fā)5款化學(xué)氣相沉積設(shè)備，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)先進(jìn)材料產(chǎn)業(yè)鏈上游關(guān)鍵設(shè)備的空白。
目前，納設(shè)智能的碳化硅外延設(shè)備已實(shí)現(xiàn)全面產(chǎn)業(yè)化。在光伏鈣鈦礦領(lǐng)域，納設(shè)智能也正全力推進(jìn)大尺寸設(shè)備研發(fā)，預(yù)計(jì)年內(nèi)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品上市。
（集邦化合物半導(dǎo)體整理）
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