在半導(dǎo)體材料革命的浪潮中，碳化硅（SiC）以其耐高壓、高頻、高溫的卓越性能，正加速滲透各個(gè)領(lǐng)域。近年，我國(guó)積極發(fā)展碳化硅產(chǎn)業(yè)，在8英寸、12英寸取得了喜人成績(jī)。近期，國(guó)內(nèi)三家公司8英寸碳化硅領(lǐng)域傳出新進(jìn)展。
01、超芯星開啟8英寸碳化硅襯底量產(chǎn)
近期，南京日?qǐng)?bào)深度對(duì)話超芯星聯(lián)合創(chuàng)始人袁振洲，揭秘我國(guó)8英寸碳化硅襯底量產(chǎn)背后的“晶體種植術(shù)”。
袁振洲指出，“種”晶體的主要材料就是籽晶和高純度碳化硅粉料。籽晶是形成晶體的‘種子’，當(dāng)溫度升至2300℃以上時(shí)，高純度碳化粉料升華，傳輸至籽晶附近，達(dá)到過(guò)飽和狀態(tài)后重新結(jié)晶，逐漸形成完美的晶體。隨后通過(guò)精細(xì)的切割、研磨和拋光工序，這些晶體被轉(zhuǎn)化為光滑的單晶襯底，襯底尺寸越大，所能產(chǎn)出的芯片數(shù)量越多。
隨著尺寸的增大，內(nèi)部晶體缺陷的風(fēng)險(xiǎn)也相應(yīng)增加。面對(duì)這些挑戰(zhàn)，袁振洲帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)不斷攻克難關(guān)，先后突破了低應(yīng)力晶體生長(zhǎng)、低缺陷晶體生長(zhǎng)及低損耗晶片加工技術(shù)等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)難點(diǎn)，形成了一整套具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的工藝。如今，超芯星已成為國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家能夠批量供應(yīng)碳化硅襯底片的企業(yè)之一，同時(shí)也是江蘇省內(nèi)唯一一家覆蓋全產(chǎn)業(yè)鏈的碳化硅材料公司。
展望未來(lái)，袁振洲表示公司近期目標(biāo)是推動(dòng)8英寸碳化硅襯底的大規(guī)模量產(chǎn)，同時(shí)，致力于打造品牌影響力，為南京的產(chǎn)業(yè)科技創(chuàng)新貢獻(xiàn)力量。
02、重投天科6&8吋產(chǎn)品已推向市場(chǎng)
深圳特區(qū)報(bào)消息，深圳市重投天科半導(dǎo)體有限公司（以下簡(jiǎn)稱“重投天科”）主要聚焦于碳化硅襯底和外延的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，是北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱：“北京天科合達(dá)”）和市屬國(guó)企深重投集團(tuán)兩家企業(yè)為主要股東合資成立的半導(dǎo)體企業(yè)。
該公司位于深圳市寶安區(qū)石巖街道，這里曾經(jīng)是一片荒蕪的土地，經(jīng)過(guò)五年的發(fā)展，如今已建起大片廠房，總建筑面積達(dá)到179045平方米，深圳市第三代半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)園從藍(lán)圖變?yōu)楝F(xiàn)實(shí)。
source：深圳市寶安區(qū)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)
報(bào)道指出，重投天科高質(zhì)量的6-8英寸碳化硅襯底和外延已推向市場(chǎng)。據(jù)悉，按照正常設(shè)計(jì)、施工工期，產(chǎn)業(yè)園建設(shè)工期需要約28個(gè)月，面對(duì)市場(chǎng)對(duì)于產(chǎn)能的迫切需求，重投天科最終僅用了19個(gè)月實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線順利投產(chǎn)。
03、晶升股份8英寸設(shè)備持續(xù)推進(jìn)
近期，晶升股份發(fā)布2024年報(bào)和2025年一季報(bào)，公司2024年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入4.25億元，同比增長(zhǎng)4.78%；2025Q1實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入0.71億元，同比減少12.69%。
晶升股份是國(guó)內(nèi)晶體生長(zhǎng)設(shè)備領(lǐng)域龍頭企業(yè)之一，碳化硅單晶爐領(lǐng)域，晶升股份是國(guó)內(nèi)少數(shù)實(shí)現(xiàn)8英寸碳化硅單晶爐量產(chǎn)的企業(yè)。
此外，該公司還前瞻性布局8英寸碳化硅長(zhǎng)晶設(shè)備，自主研發(fā)的SCMP系列單晶爐已實(shí)現(xiàn)批量供應(yīng)，為未來(lái)3年至5年碳化硅襯底向大尺寸迭代提供設(shè)備保障。（集邦化合物半導(dǎo)體 秦妍 整理）