2025年10月15日-17日，2025灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)博覽會（灣芯展）在深圳會展中心隆重舉辦。蘇州新施諾半導(dǎo)體設(shè)備有限公司攜自主研發(fā)的AMHS天車系統(tǒng)亮相灣芯展，現(xiàn)場展示OHT（天車系統(tǒng)）真實運行效果。
本屆灣芯展，新施諾榮獲“2025‘灣芯獎’之卓越企業(yè)獎”，該獎項在深圳市人民政府、深圳市發(fā)展和改革委員會、中國國際工程咨詢有限公司的指導(dǎo)下，由行業(yè)領(lǐng)袖、權(quán)威學(xué)者及資深專家組成專業(yè)評審委員會，結(jié)合專業(yè)觀眾公開投票綜合評選。
新施諾榮獲“2025‘灣芯獎’之卓越企業(yè)獎”
AMHS天車：晶圓制造廠物流升級的關(guān)鍵
隨著晶圓制造工藝向更高制程（如14nm以下節(jié)點）和更大尺寸（12英寸成為主流）演進，晶圓廠對自動化物料搬運系統(tǒng)（Automatic Material Handling System，AMHS）的需求大幅上升，對物流系統(tǒng)的效率、精度和穩(wěn)定性要求達到前所未有的高度。
屠杰在演講中指出：”12英寸晶圓廠已成為行業(yè)主流，其生產(chǎn)規(guī)模大、工藝復(fù)雜、對良率敏感性高，對AMHS天車系統(tǒng)提出了極致要求。”
銷售副總經(jīng)理屠杰在展會期間發(fā)表主題演講
針對12英寸晶圓廠在物流系統(tǒng)方面高潔凈度、高穩(wěn)定性、高效率傳送、高復(fù)雜度、低振動以及全自動化系統(tǒng)對接的需求，OHT系統(tǒng)憑借其卓越的性能，正成為晶圓制造廠物流自動化方案的核心。
數(shù)據(jù)顯示，在12英寸晶圓制造過程中，單片晶圓需在數(shù)百臺設(shè)備間流轉(zhuǎn)，經(jīng)歷上千道工序，單次生產(chǎn)周期中晶圓傳輸里程超20公里；整廠OHT軌道總長超50公里，每日需完成50萬次以上運輸任務(wù)，其復(fù)雜性堪比都市交通系統(tǒng)。 OHT系統(tǒng)已從輔助工具升級為晶圓廠的“神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)”，任何一次宕機都可能導(dǎo)致整廠停產(chǎn)，造成巨大經(jīng)濟損失。
屠杰指出：為打破高端半導(dǎo)體制造裝備長期依賴進口的局面，新施諾毅然肩負(fù)起OHT系統(tǒng)國產(chǎn)化的重任，目前已成功打造出高性能OHT解決方案，其OHT小車的技術(shù)規(guī)格已達到非常高的水準(zhǔn)：
- 速度與加速度：直線最高速度可達5.3m/s，轉(zhuǎn)彎最大速度可達1.0m/s，加速度、減速度分別可達2m/s2、3m/s2；
- 負(fù)載能力：標(biāo)準(zhǔn)負(fù)載能力為15kg（可定制最大負(fù)載50kg），可兼容標(biāo)準(zhǔn)的300mmFOUP、FOSB，200mmSMIF POD、CST，PLP600mm FOUP等載具；
- 定位精度：重復(fù)定位精度可達±1mm，確保與工藝設(shè)備端口（Load Port）的精準(zhǔn)對接；
- 可靠性：平均無故障時間（MTBF）在2000小時以上，系統(tǒng)可用性（Uptime）高達99.999%；
- 潔凈度：可在Class10的潔凈環(huán)境中運行。
在本次灣芯展現(xiàn)場，新施諾展示了AMHS天車系統(tǒng)的實際運行場景，吸引了眾多專業(yè)觀眾駐足觀摩。參觀者可近距離觀看OHT天車在軌道上的精準(zhǔn)運行、晶圓載具的自動裝卸等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，直觀感受智能物流裝備的技術(shù)實力與創(chuàng)新成果。
OHT系統(tǒng)是一個復(fù)雜的軟硬件集成系統(tǒng)，除了硬件系統(tǒng)，還有計算機集成制造系統(tǒng)（CIM）。新施諾在展位上也展示了OHT系統(tǒng)的軟件控制界面，包括物料搬送控制系統(tǒng)MCS、3D數(shù)字孿生系統(tǒng)DTS等核心功能，為行業(yè)同仁提供了直觀的國產(chǎn)化解決方案參考。
AMHS國產(chǎn)化實踐：從技術(shù)突破到行業(yè)引領(lǐng)
晶圓制造廠的物流系統(tǒng)是一項投資龐大、技術(shù)繁雜、周期漫長的系統(tǒng)性項目，面臨著技術(shù)與管理規(guī)劃的嚴(yán)峻考驗。目前，AMHS國產(chǎn)化仍面臨技術(shù)壁壘高、整廠部署驗證難、復(fù)合型人才稀缺及核心零部件供應(yīng)鏈危機等多重挑戰(zhàn)。
當(dāng)前國產(chǎn)AMHS推廣的最大障礙之一，是缺乏大規(guī)模實際生產(chǎn)環(huán)境中的驗證案例和現(xiàn)場運行數(shù)據(jù)。同時，精密電機、高性能驅(qū)動器、關(guān)鍵控制器等核心元器件仍嚴(yán)重依賴進口，供應(yīng)鏈安全面臨挑戰(zhàn)，復(fù)合型技術(shù)人才的儲備也亟待加強。
面對挑戰(zhàn)，新施諾以“聚焦關(guān)鍵痛點，打造比較優(yōu)勢”為核心戰(zhàn)略，走出了一條務(wù)實而高效的破局之路。在技術(shù)創(chuàng)新方面，新施諾已實現(xiàn)OHT輕量化設(shè)計迭代，并在控制器架構(gòu)、技術(shù)路線及操作系統(tǒng)選擇上形成了獨特優(yōu)勢，致力于打造更加穩(wěn)定、高效、可控的國產(chǎn)天車系統(tǒng)。
在生態(tài)建設(shè)上，新施諾始終堅持開放合作的理念，通過供應(yīng)鏈聯(lián)盟，深化與集成商的協(xié)同合作，推進戰(zhàn)略合作與產(chǎn)業(yè)安全布局，實現(xiàn)資源共享、風(fēng)險共擔(dān)、共同驗證，推動公司和全行業(yè)的進階。
截至目前，新施諾已成功在國內(nèi)多個12英寸及8英寸晶圓廠完成AMHS系統(tǒng)的交付與部署。公司不僅提供高性能硬件設(shè)備，更通過自主研發(fā)的軟件系統(tǒng)，實現(xiàn)對物流任務(wù)的智能調(diào)度、實時監(jiān)控與高效管理，全面保障系統(tǒng)穩(wěn)定運行，賦能晶圓廠實現(xiàn)物流系統(tǒng)的智能化升級。
在12英寸先進制程晶圓廠這一戰(zhàn)略高地，AMHS的國產(chǎn)化已不僅是技術(shù)能力的體現(xiàn)，更是保障半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全與自主可控的重要基石。展望未來，新施諾將繼續(xù)堅持長期主義，以客戶為中心，用創(chuàng)新技術(shù)賦能智能制造，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展！
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