PVA TePla推出首款為中國市場(chǎng)定制的碳化硅長(cháng)晶設備,助力中國碳化硅產(chǎn)業(yè)發(fā)展

作者 | 發(fā)布日期 2024 年 03 月 26 日 17:20 | 分類(lèi) 企業(yè)

2024年3月20日-22日,全球半導體產(chǎn)業(yè)盛會(huì )SEMICON China 2024在上海圓滿(mǎn)收官。作為全球高端半導體設備制造商,德國PVA TePla集團在本次展會(huì )上向業(yè)界展示了多款前沿技術(shù)產(chǎn)品,獲得了半導體客戶(hù)的廣泛關(guān)注。

展會(huì )期間,PVA TePla向行業(yè)隆重介紹了其產(chǎn)品家族里的新成員—為中國市場(chǎng)定制的首款碳化硅晶體生長(cháng)設備“SiCN”?!癝iCN”結合了半導體行業(yè)生產(chǎn)特點(diǎn),將德國的設計經(jīng)驗和理念與中國本土化生產(chǎn)配套能力優(yōu)勢聯(lián)合,采用PVT法(物理氣相傳輸工藝)生產(chǎn)碳化硅晶體,該款設備計劃于2024Q2投入市場(chǎng)。

Source:PVA TePla

“SiCN”設計全方位貼合工藝特性,以實(shí)現更低能耗和更優(yōu)效益,同時(shí)設備的高度一致性和自動(dòng)化長(cháng)晶控制可有效提高良率,助力提高最終產(chǎn)品的附加值和核心競爭力。另外,“SiCN” 具備模組化設計理念,可兼容多種尺寸,同時(shí)擁有經(jīng)過(guò)實(shí)操認證的低功耗線(xiàn)圈設計,且占地面積小,布局緊湊。另外,該款設備非常適合工業(yè)化大規模生產(chǎn)的要求,其優(yōu)秀的工藝匹配性,可讓客戶(hù)在PVA設備上使用原有自身工藝,無(wú)需進(jìn)行大幅改動(dòng)。

Source:PVA TePla

PVA在晶體制造系統方面積累了超過(guò)60年的經(jīng)驗,已形成了較為明顯的技術(shù)優(yōu)勢,這與其過(guò)往的并購經(jīng)歷緊密相關(guān),其中包括收購Leybold-Heraeus與Haldor-Topsoe,這是PVA晶體生長(cháng)技術(shù)的核心來(lái)源。

PVA TePla集團半導體業(yè)務(wù)中國區負責人謝秀紅表示:“PVA已經(jīng)掌握幾乎所有工業(yè)領(lǐng)域應用的晶體生長(cháng)技術(shù),無(wú)論是區熔法、直拉法、垂直梯度法,還是化學(xué)氣相傳輸法?;谶@些經(jīng)驗,我們的所有設備追求非常極致的質(zhì)量和安全標準,并且對系統的自動(dòng)化、標準化都有著(zhù)獨到的理解和技術(shù)訣竅?!?/p>

PVA TePla集團已在全球范圍內銷(xiāo)售大量的碳化硅晶體生長(cháng)系統,并與全球領(lǐng)先的主流碳化硅襯底材料供應商共同研發(fā)并為其提供長(cháng)晶設備,其設備穩定性和產(chǎn)品質(zhì)量一致性,在大尺寸碳化硅材料的研發(fā)過(guò)程中起到了關(guān)鍵作用。

隨著(zhù)中國成為全球碳化硅產(chǎn)業(yè)的重要生產(chǎn)基地,PVA TePla集團已在中國陜西西安建立了生產(chǎn)基地、演示中心及供應鏈中心,旨在將高端設備國產(chǎn)化,以更好地助力中國半導體產(chǎn)業(yè)提升和發(fā)展,特別是碳化硅晶體和大尺寸單晶硅片的生產(chǎn)。

同時(shí),為了堅定服務(wù)中國市場(chǎng)的決心,并貼合本土市場(chǎng)需求,德國PVA TePla集團也在進(jìn)一步完善本地團隊技術(shù)服務(wù),加強與下游合作伙伴的研發(fā)合作,并且提供更加專(zhuān)業(yè)化、定制化的本地支持,幫助合作伙伴更加便捷、快速的實(shí)現大規模生產(chǎn)能力。(來(lái)源:PVA TePla集團)

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