2026年1月9日，珂瑪科技在投資者交流活動中系統(tǒng)披露了可轉債進展、產能建設、產品性能及外延并購四大關切。
圖片來源：珂瑪科技公告截圖
另外，珂瑪科技在投資者交流活動中系統(tǒng)披露了可轉債進展、產能建設、產品性能及外延并購四大關切。
公司表示，可轉債申請已獲深交所受理并正處審核階段，同步完成蘇州高新區(qū)項目用地購置；募投將重點新建靜電卡盤產線并進一步擴大陶瓷加熱器產能，以滿足半導體設備關鍵零部件國產替代需求。
2025年內，公司先把原先分散于各租賃場地的陶瓷加熱器設備整體遷入IPO募投的先進材料生產基地，并配套建成潔凈車間，顯著提升交付保障能力。
在性能對比方面，珂瑪科技自2023年四季度起已實現陶瓷加熱器批量出貨，產品用于晶圓廠薄膜沉積環(huán)節(jié)，關鍵指標已滿足主流客戶制程要求。公司透露，將持續(xù)優(yōu)化材料配方與工藝，開發(fā)更耐腐蝕、耐高溫、等離子沖刷壽命更長的迭代型號，以縮小與國際龍頭在極致工藝窗口和長期可靠性上的差距。
針對靜電卡盤產業(yè)化進度落后于陶瓷加熱器的疑問，公司解釋稱，兩者研發(fā)起點不同：陶瓷加熱器自2016年承擔國家02專項至今積累九年，而靜電卡盤項目2020年才啟動，僅五年多時間；加之材料體系由氮化鋁轉為氧化鋁，工藝流程差異大，導致驗證周期更長。
目前，12英寸ICP/CCP刻蝕機用Monopolar靜電卡盤已通過設備廠驗證并小批量生產，多區(qū)加熱版本亦交付客戶端測試。珂瑪科技計劃借助可轉債資金建設專業(yè)產線，復制陶瓷加熱器的全流程技術閉環(huán)，快速提升靜電卡盤良率與性能指標。
關于外延擴張，公司明確將并購作為長期成長路徑之一。2025年7月完成的蘇州鎧欣73%股權收購是首單案例，其CVD碳化硅涂層及塊體陶瓷技術與珂瑪現有高純氧化鋁、氮化鋁結構陶瓷形成互補，正同步推進銷售渠道、供應鏈及信息系統(tǒng)整合。
未來并購將聚焦三大方向：一是半導體設備零部件領域的功能-結構一體化模塊及特殊工藝；二是陶瓷材料在新能源、化工環(huán)保、生物醫(yī)藥、汽車等場景的跨行業(yè)應用；三是高純氮化鋁、碳化硅微粉等上游粉體環(huán)節(jié)。公司表示，所有潛在項目將嚴格遵循法律法規(guī)，及時履行信息披露義務。
（集邦化合物半導體整理）
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