“晶馳機電”官微消息，近日，晶馳機電全新研發(fā)的6-12寸兼容的全自動腐蝕爐成功走向海外市場，獲得國際客戶的高度認可。該設備專為碳化硅（SiC）晶片腐蝕工藝設計，集自動化、高效率、高安全性于一體，標志著晶馳機電在半導體裝備領域邁出國際化關鍵一步。
圖片來源：晶馳機電
該設備支持6寸、8寸、12寸晶片，適應多樣化生產需求；采用雙工位設計，可提升生產效率，實現(xiàn)連續(xù)作業(yè)；搭載全封閉+強排風系統(tǒng)，有效隔絕腐蝕性堿蒸汽，保障人員安全；設備全流程自動化，涵蓋腐蝕、清洗、烘干全工序，極大減少人工干預；最后，設備還具備產業(yè)化適配優(yōu)勢，高效穩(wěn)定，適用于規(guī)?；慨a場景。
晶馳機電表示，此次出口不僅是單一訂單的達成，更是晶馳機電國際化戰(zhàn)略的重要里程碑。未來，公司將持續(xù)深化SiC工藝設備的技術積累與創(chuàng)新；積極拓展海外市場，構建全球服務體系；圍繞客戶需求，開發(fā)更智能、更高效的半導體裝備。
資料顯示，晶馳機電專注于碳化硅、金剛石、氮化鋁等半導體材料裝備研發(fā)、生產與銷售，致力于為第三、四代半導體襯底材料及科研領域提供專業(yè)設備與技術支持，通過持續(xù)創(chuàng)新推動國內先進材料制造水平的提升，助力實現(xiàn)關鍵設備的進口替代。產品包括碳化硅長晶爐、碳化硅外延爐、腐蝕爐、熱壓爐、金剛石長晶爐等第三、四代半導體裝備設備。
（集邦化合物半導體整理）
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