近日，山東省發(fā)展改革委下達2025年度省新舊動能轉換重大產業(yè)攻關項目激勵補助資金計劃，青島市12個項目獲得省級專項激勵補助資金2430萬元。其中，思銳半導體先進裝備研發(fā)制造中心項目、海爾膠州冰箱智能制造（二期）項目因技術引領性強、建設進度良好均獲得最高補助額度400萬元。
今年6月思銳半導體先進裝備研發(fā)制造中心在青島自貿片區(qū)正式落成并投入生產，該項目由思銳智能與青島城投集團聯(lián)合打造，聚焦原子層沉積鍍膜（ALD）和離子注入機（IMP）兩大關鍵半導體前道設備的研發(fā)與規(guī)?；a。
資料顯示，思銳智能主要聚焦半導體前道工藝設備的研發(fā)、生產和銷售，旨在提供具有自主可控關鍵核心技術的系統(tǒng)裝備產品和技術服務方案。其ALD和IMP設備廣泛應用于集成電路、以功率與化合物為代表的第三代半導體、新能源、光學、生物醫(yī)學等諸多高精尖領域。
另據(jù)媒體報道，思銳半導體先進裝備研發(fā)制造中心項目研制的4.5MeV高能離子注入機打破國際壟斷、填補國內空白；12英寸原子層沉積設備（ALD）獲得全球頭部企業(yè)重復訂單，功率化合物半導體市場占有率全球領先。
（集邦化合物半導體整理）
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