近日，山東省發(fā)展改革委下達(dá)2025年度省新舊動(dòng)能轉(zhuǎn)換重大產(chǎn)業(yè)攻關(guān)項(xiàng)目激勵(lì)補(bǔ)助資金計(jì)劃，青島市12個(gè)項(xiàng)目獲得省級(jí)專項(xiàng)激勵(lì)補(bǔ)助資金2430萬(wàn)元。其中，思銳半導(dǎo)體先進(jìn)裝備研發(fā)制造中心項(xiàng)目、海爾膠州冰箱智能制造（二期）項(xiàng)目因技術(shù)引領(lǐng)性強(qiáng)、建設(shè)進(jìn)度良好均獲得最高補(bǔ)助額度400萬(wàn)元。
今年6月思銳半導(dǎo)體先進(jìn)裝備研發(fā)制造中心在青島自貿(mào)片區(qū)正式落成并投入生產(chǎn)，該項(xiàng)目由思銳智能與青島城投集團(tuán)聯(lián)合打造，聚焦原子層沉積鍍膜（ALD）和離子注入機(jī)（IMP）兩大關(guān)鍵半導(dǎo)體前道設(shè)備的研發(fā)與規(guī)?；a(chǎn)。
資料顯示，思銳智能主要聚焦半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，旨在提供具有自主可控關(guān)鍵核心技術(shù)的系統(tǒng)裝備產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)方案。其ALD和IMP設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路、以功率與化合物為代表的第三代半導(dǎo)體、新能源、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等諸多高精尖領(lǐng)域。
另?yè)?jù)媒體報(bào)道，思銳半導(dǎo)體先進(jìn)裝備研發(fā)制造中心項(xiàng)目研制的4.5MeV高能離子注入機(jī)打破國(guó)際壟斷、填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白；12英寸原子層沉積設(shè)備（ALD）獲得全球頭部企業(yè)重復(fù)訂單，功率化合物半導(dǎo)體市場(chǎng)占有率全球領(lǐng)先。
（集邦化合物半導(dǎo)體整理）
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