“晶馳機(jī)電”官微消息，近日，晶馳機(jī)電全新研發(fā)的6-12寸兼容的全自動(dòng)腐蝕爐成功走向海外市場(chǎng)，獲得國(guó)際客戶的高度認(rèn)可。該設(shè)備專為碳化硅（SiC）晶片腐蝕工藝設(shè)計(jì)，集自動(dòng)化、高效率、高安全性于一體，標(biāo)志著晶馳機(jī)電在半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域邁出國(guó)際化關(guān)鍵一步。
圖片來源：晶馳機(jī)電
該設(shè)備支持6寸、8寸、12寸晶片，適應(yīng)多樣化生產(chǎn)需求；采用雙工位設(shè)計(jì)，可提升生產(chǎn)效率，實(shí)現(xiàn)連續(xù)作業(yè)；搭載全封閉+強(qiáng)排風(fēng)系統(tǒng)，有效隔絕腐蝕性堿蒸汽，保障人員安全；設(shè)備全流程自動(dòng)化，涵蓋腐蝕、清洗、烘干全工序，極大減少人工干預(yù)；最后，設(shè)備還具備產(chǎn)業(yè)化適配優(yōu)勢(shì)，高效穩(wěn)定，適用于規(guī)模化量產(chǎn)場(chǎng)景。
晶馳機(jī)電表示，此次出口不僅是單一訂單的達(dá)成，更是晶馳機(jī)電國(guó)際化戰(zhàn)略的重要里程碑。未來，公司將持續(xù)深化SiC工藝設(shè)備的技術(shù)積累與創(chuàng)新；積極拓展海外市場(chǎng)，構(gòu)建全球服務(wù)體系；圍繞客戶需求，開發(fā)更智能、更高效的半導(dǎo)體裝備。
資料顯示，晶馳機(jī)電專注于碳化硅、金剛石、氮化鋁等半導(dǎo)體材料裝備研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，致力于為第三、四代半導(dǎo)體襯底材料及科研領(lǐng)域提供專業(yè)設(shè)備與技術(shù)支持，通過持續(xù)創(chuàng)新推動(dòng)國(guó)內(nèi)先進(jìn)材料制造水平的提升，助力實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵設(shè)備的進(jìn)口替代。產(chǎn)品包括碳化硅長(zhǎng)晶爐、碳化硅外延爐、腐蝕爐、熱壓爐、金剛石長(zhǎng)晶爐等第三、四代半導(dǎo)體裝備設(shè)備。
（集邦化合物半導(dǎo)體整理）
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