深圳首個聚焦化合物半導(dǎo)體光電子領(lǐng)域公共服務(wù)平臺落成!

作者 | 發(fā)布日期 2025 年 12 月 30 日 15:14 | 分類 化合物半導(dǎo)體

近期,深圳技術(shù)大學(xué)半導(dǎo)體微納加工中心與測試平臺正式落成。

深技大副校長鄧元龍代表學(xué)校,分別與清華大學(xué)深圳國際研究生院、深圳平湖實(shí)驗(yàn)室、深圳國際量子研究院、南方科技大學(xué)深港微電子學(xué)院、深圳光峰科技股份有限公司、藍(lán)河科技(紹興)有限公司、騰璞顯示技術(shù)(深圳)有限公司、深圳市中科米格實(shí)驗(yàn)室技術(shù)有限公司等科研院校及機(jī)構(gòu)代表完成集中簽約。簽約內(nèi)容涵蓋框架協(xié)議、聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室共建、員工互聘、校外實(shí)習(xí)實(shí)訓(xùn)基地共建及項(xiàng)目合作協(xié)議等多個關(guān)鍵領(lǐng)域。

圖片來源:SZTU光電芯

作為深圳市首個聚焦化合物半導(dǎo)體光電子領(lǐng)域的公共服務(wù)平臺,該平臺的投用填補(bǔ)了深圳市在“光載信息”和“智能傳感”半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的空白,將為粵港澳大灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供關(guān)鍵支撐,筑牢深技大應(yīng)用研究型人才培養(yǎng)根基。

資料顯示,深圳技術(shù)大學(xué)半導(dǎo)體微納加工中心與測試平臺是國內(nèi)高校系統(tǒng)中獨(dú)立建成的規(guī)模最大、工藝最完整、運(yùn)營職業(yè)化的#化合物半導(dǎo)體 光電芯片公共服務(wù)平臺之一。

中心建筑面積2600平方米,其中千級、百級及萬級潔凈區(qū)面積達(dá)2100平方米,配置120余臺套先進(jìn)教學(xué)與研發(fā)工藝設(shè)備,構(gòu)建起覆蓋光刻、刻蝕、薄膜沉積、切磨拋及測試表征等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的全流程工藝體系,可提供“設(shè)計(jì)—加工—封裝—測試”一站式技術(shù)解決方案。

中心以“科研牽引、產(chǎn)業(yè)協(xié)同、人才培養(yǎng)”為使命,精準(zhǔn)對接深技大應(yīng)用研究型人才培養(yǎng)需求,致力于打造國際先進(jìn)、國內(nèi)領(lǐng)先的產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新高地。依托深技大集成電路與光電芯片學(xué)院,組建了由50多名高層次科研人員構(gòu)成的核心團(tuán)隊(duì),已構(gòu)建起從基礎(chǔ)研究到工藝實(shí)現(xiàn)、從中試到產(chǎn)業(yè)化的完整創(chuàng)新鏈條。作為學(xué)院本碩博學(xué)生的核心實(shí)踐載體,將深度融合科研與教學(xué),助力構(gòu)建實(shí)踐型人才培養(yǎng)體系,為產(chǎn)業(yè)輸送高素質(zhì)專業(yè)人才,實(shí)現(xiàn)教學(xué)、科研、產(chǎn)業(yè)三大目標(biāo)的精準(zhǔn)對接。

業(yè)界指出,當(dāng)前,深圳市在光載信息產(chǎn)業(yè)和智能傳感器系列產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域缺乏上游工藝芯片制造公共服務(wù)平臺,深圳技術(shù)大學(xué)半導(dǎo)體微納加工中心與測試平臺的落成彌補(bǔ)了這一空白,其產(chǎn)業(yè)服務(wù)線精準(zhǔn)對接深圳市“20+8”產(chǎn)業(yè)集群中的光載信息產(chǎn)業(yè)和智能傳感器系列產(chǎn)業(yè),能滿足粵港澳大灣區(qū)在該領(lǐng)域的相關(guān)需求。未來,中心將進(jìn)一步助力學(xué)校深化產(chǎn)教融合、推進(jìn)新型研究型大學(xué)建設(shè),為粵港澳大灣區(qū)建設(shè)產(chǎn)業(yè)科技策源地貢獻(xiàn)深技大力量。

(集邦化合物半導(dǎo)體整理)

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