近日，碳化硅設備領域動態(tài)頻頻，山西中電科率先完成第二代立式碳化硅涂層裝備迭代，裝爐量猛漲七成、節(jié)拍壓縮三分之一；同一時段，捷佳偉創(chuàng)宣布其半導體清洗與碳化硅高溫熱處理設備雙雙在客戶端落地。
1、山西中電科第二代立式碳化硅涂層裝備工藝迭代升級
近日，電科裝備山西中電科公司自主研發(fā)的第二代立式碳化硅涂層裝備成功實現(xiàn)工藝技術迭代升級，裝爐量提升70%，涂層周期縮短33%。
研發(fā)團隊歷經(jīng)30余次工藝試驗與結構設計優(yōu)化，成功攻克流場與溫場均勻性控制、涂層工藝匹配、減少副產(chǎn)物等技術難題。通過持續(xù)優(yōu)化工藝參數(shù)，在保障產(chǎn)品性能的前提下，較第一代立式碳化硅涂層裝備裝爐量提升70%。該裝備所生產(chǎn)的涂層產(chǎn)品技術指標全面達標，有效滿足市場多樣化、規(guī)?；枨?。
圖片來源：電科裝備
后續(xù)，電科裝備山西中電科公司將繼續(xù)深耕半導體涂層裝備領域，持續(xù)提升自主創(chuàng)新與核心技術能力，助力公司高質量發(fā)展。
2、捷佳偉創(chuàng)：半導體清洗設備、碳化硅高溫熱處理工藝設備都已出貨給客戶
12月2日，捷佳偉創(chuàng)在互動平臺表示，公司持續(xù)拓展半導體及第三代半導體領域，目前公司的半導體清洗設備、碳化硅高溫熱處理工藝設備都已出貨給客戶，并且公司在持續(xù)研發(fā)其他半導體及泛半導體相關設備。
早在9月份，該公司就透露，其碳化硅高溫熱處理設備已發(fā)貨給“行業(yè)頭部客戶”，半導體清洗設備亦不斷獲得新訂單，顯示出公司在第三代半導體設備領域的快速推進和客戶認可度。
業(yè)績層面，捷佳偉創(chuàng)延續(xù)“九連增”勢頭。該公司2025年前三季度營業(yè)收入131.06億元，同比增長6.17%；歸母凈利潤26.88億元，同比增長32.9%；毛利率29.07%、凈利率20.52%，同比分別提升1.27和4.13個百分點。
公司指出，利潤增長主要得益于前期大額在手訂單的持續(xù)驗收；短期收入增速放緩則與光伏行業(yè)擴產(chǎn)節(jié)奏減緩有關。
（集邦化合物半導體 竹子 整理）
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