近日，沈陽(yáng)經(jīng)開區(qū)落地兩條半導(dǎo)體高端零部件產(chǎn)線。遼寧漢京半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地宣布，國(guó)內(nèi)首條“半導(dǎo)體碳化硅零部件生產(chǎn)線”和國(guó)內(nèi)首條“10nm級(jí)極高純石英生產(chǎn)線”已在沈陽(yáng)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)正式投產(chǎn)。
圖片來源：遼寧省人民政府網(wǎng)
其中，備受關(guān)注的“半導(dǎo)體碳化硅零部件生產(chǎn)線”是遼寧漢京歷時(shí)三年自主研發(fā)的成果。該產(chǎn)線成功突破了大尺寸碳化硅構(gòu)件高溫?zé)Y(jié)、精密加工以及表面純化處理等一系列核心工藝難題。它具備年產(chǎn)5萬(wàn)件高純碳化硅零部件的能力，產(chǎn)品將直接配套國(guó)內(nèi)的碳化硅晶圓廠、襯底廠和外延廠，有效打破了相關(guān)產(chǎn)品長(zhǎng)期依賴進(jìn)口的局面。
市場(chǎng)對(duì)這條新產(chǎn)線的反應(yīng)較為熱烈，漢京半導(dǎo)體方面透露，剛投產(chǎn)即獲得了國(guó)內(nèi)頭部企業(yè)的批量訂單，“明年訂單已經(jīng)全排滿了！”預(yù)計(jì)到2026年，僅碳化硅零部件產(chǎn)線的銷售額就有望突破10億元。
同步投產(chǎn)的“10nm級(jí)極高純石英生產(chǎn)線”則瞄準(zhǔn)了集成電路制造中對(duì)材料純度的嚴(yán)苛要求。該產(chǎn)線采用了自主創(chuàng)新的“等離子體提純+高溫氯化”技術(shù)路線，能夠?qū)⑹⑸爸械慕饘匐s質(zhì)含量降至10ppb以下，達(dá)到了國(guó)際領(lǐng)先水平。
這一純度標(biāo)準(zhǔn)足以滿足7nm甚至以下先進(jìn)制程對(duì)石英材料的需求，例如半導(dǎo)體級(jí)石英管和石英舟等。這條產(chǎn)線的投產(chǎn)，有效解決了國(guó)內(nèi)先進(jìn)半導(dǎo)體制造材料長(zhǎng)期依賴進(jìn)口的難題，為國(guó)內(nèi)晶圓廠的供應(yīng)鏈安全提供了有力保障。
漢京半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地位于沈陽(yáng)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，項(xiàng)目總投資約10億元，占地近9.5萬(wàn)平方米，是漢京半導(dǎo)體在沈陽(yáng)建設(shè)的核心產(chǎn)業(yè)基地。依托企業(yè)在碳化硅陶瓷精密加工和高純度石英成型等方面的技術(shù)積累，該工廠達(dá)產(chǎn)后將使?jié)h京里達(dá)工廠設(shè)計(jì)產(chǎn)能超過12億元。
沈陽(yáng)經(jīng)開區(qū)相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，地方政府將以漢京項(xiàng)目為龍頭，積極打造“第三代半導(dǎo)體零部件+材料”的特色產(chǎn)業(yè)集群。未來三年內(nèi)，經(jīng)開區(qū)計(jì)劃引進(jìn)超過20家上下游配套企業(yè)，最終形成百億級(jí)的產(chǎn)業(yè)規(guī)模，全力助力沈陽(yáng)打造成為具有重要影響力的“北方半導(dǎo)體之都”。
公開資料顯示，漢京半導(dǎo)體成立于2022年6月，是國(guó)內(nèi)碳化硅耗材生產(chǎn)商、國(guó)內(nèi)石英制品產(chǎn)業(yè)的頭部供應(yīng)商，主要產(chǎn)品包含石英管、石英舟、石英環(huán)、碳化硅陶瓷舟、碳化硅陶瓷管、碳化硅陶瓷保溫筒等。
2025年8月13日，正帆科技正式與漢京半導(dǎo)體5名股東簽署《股份轉(zhuǎn)讓協(xié)議》，以11.21億元現(xiàn)金收購(gòu)其62.23%股權(quán)，漢京半導(dǎo)體由此成為正帆科技控股子公司。最新消息顯示，2025年9月工商變更已完成，正帆科技正式成為漢京半導(dǎo)體的大股東。
正帆科技成立于2009年，主營(yíng)業(yè)務(wù)聚焦于為泛半導(dǎo)體、生物制藥、光纖通信等高科技產(chǎn)業(yè)提供工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)、高純特種氣體及潔凈室配套服務(wù)，形成 “設(shè)備+材料+服務(wù)” 三位一體的綜合解決方案。
（集邦化合物半導(dǎo)體 竹子 整理）
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