近日,SiC外延生長CVD設備供應商納設智能成功研制出更大尺寸具有更多創(chuàng)新技術的8英寸碳化硅外延設備,此設備具備獨特反應腔室設計、可獨立控制的多區(qū)進氣方式、以及智能的控制系統(tǒng),將更好的提高外延片的均勻性,降低外延缺陷及生產中的耗材成本。
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目前,6英寸碳化...  [詳內文]
瞄準8英寸SiC外延!這家設備廠再獲突破 |
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作者
huang, Mia
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發(fā)布日期:
2023 年 08 月 30 日 18:35
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關鍵字:
SiC外延
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