昂坤視覺(jué)近期推出了針對(duì)MicroLED外延檢測(cè)高端設(shè)備E3200micro，該設(shè)備在昂坤視覺(jué)上一代兩款藍(lán)綠光和紅光外延片檢測(cè)設(shè)備的基礎(chǔ)上，檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)重新做了設(shè)計(jì)和提升，在一臺(tái)設(shè)備上集成了表面缺陷和紅，藍(lán)和綠光外延片的熒光缺陷檢測(cè)。表面顆粒的最小精度達(dá)到了60nm，熒光缺陷像素分辨率0.5um。
昂坤視覺(jué)Mciro LED的檢測(cè)設(shè)備E3200micro
E3200micro明場(chǎng)采用微分干涉DIC檢測(cè)系統(tǒng)，可以對(duì)外延片表面的晶格缺陷形貌成像檢測(cè)和AI分類(lèi)；暗場(chǎng)采用激光散射，顆粒檢測(cè)精度最低可以達(dá)到60nm。
E3200micro針對(duì)不同顏色發(fā)光的外延片，配備了相應(yīng)的激發(fā)激光和適配的收集系統(tǒng)，可以對(duì)GaAs外延紅光， GaN 外延綠光和GaN外延藍(lán)光進(jìn)行熒光缺陷檢測(cè)，并且缺陷和表面缺陷進(jìn)行融合和AI分類(lèi)。
（全彩相機(jī)，Red GaAs PL Map）
（全彩相機(jī)，Green GaN PL Map）
（全彩相機(jī)，Blue GaN PL Map）
該設(shè)備為Micro LED全彩顯示提供了從外延生長(zhǎng)到芯片制程的一體化質(zhì)量監(jiān)控方案，為Micro LED外延片在AR/VR、透明顯示及車(chē)載HUD等新興場(chǎng)景的規(guī)?；涞靥峁┖诵募夹g(shù)支撐。設(shè)備推出后，已經(jīng)有多家客戶(hù)送樣測(cè)試，并獲得多臺(tái)訂單和發(fā)貨。
【附：Eagle 系列設(shè)備介紹】
E1000：專(zhuān)注于 InP、GaAs、LT、LN、玻璃等晶圓的缺陷檢測(cè)。針對(duì)這類(lèi)晶圓的典型特征，采用明暗場(chǎng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)與缺陷自動(dòng)檢測(cè)分類(lèi)算法，可快速精準(zhǔn)識(shí)別并分類(lèi) Pit（凹坑）、Bump（凸點(diǎn)）、Particle（顆粒）、Scratch（劃痕）等常見(jiàn)缺陷。
E3200：適用于 GaN 襯底及藍(lán)寶石（Sapphire）、硅（Si）、碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）等各類(lèi)襯底的 GaN 外延缺陷檢測(cè)。依托多通道光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)與缺陷自動(dòng)檢測(cè)分類(lèi)算法，為晶圓質(zhì)量控制與工藝優(yōu)化提供有力支持。
E3500：專(zhuān)為 SiC 襯底片與外延片缺陷檢測(cè)打造。針對(duì) SiC 缺陷類(lèi)型多樣的特點(diǎn)，融合多通道光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)與缺陷自動(dòng)檢測(cè)分類(lèi)算法，可快速精準(zhǔn)識(shí)別并分類(lèi)微管、層錯(cuò)、三角形缺陷、臺(tái)階聚集等常見(jiàn)缺陷，助力 SiC 產(chǎn)品質(zhì)量把控與生產(chǎn)工藝升級(jí)。
【關(guān)于昂坤視覺(jué)】
昂坤視覺(jué)于 2017 年在北京創(chuàng)立，下設(shè)南昌、杭州兩家全資半導(dǎo)體設(shè)備子公司。公司專(zhuān)注化合物半導(dǎo)體、光電及集成電路前端制造領(lǐng)域，致力于提供光學(xué)測(cè)量與檢測(cè)設(shè)備及解決方案，秉持打造國(guó)際水準(zhǔn)晶圓檢測(cè)設(shè)備的愿景，持續(xù)深耕技術(shù)研發(fā)。
憑借多年自主創(chuàng)新與技術(shù)積累，昂坤視覺(jué)已具備光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、成像技術(shù)、機(jī)器視覺(jué)及學(xué)習(xí)算法的核心研發(fā)能力，擁有多項(xiàng)自主研發(fā)的領(lǐng)先技術(shù)。公司先后榮獲國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、國(guó)家級(jí)專(zhuān)精特新 重點(diǎn)“小巨人” 企業(yè)、北京市企業(yè)技術(shù)中心等資質(zhì)認(rèn)證，并通過(guò) ISO9001 質(zhì)量管理體系認(rèn)證，是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售、服務(wù)于一體的高科技企業(yè)，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展持續(xù)貢獻(xiàn)力量。（來(lái)源：昂坤視覺(jué)）
更多SiC和GaN的市場(chǎng)資訊，請(qǐng)關(guān)注微信公眾賬號(hào)：集邦化合物半導(dǎo)體。