市場最新消息顯示，珂瑪科技半導體設備用碳化硅陶瓷部件的擴建項目獲最新進展。9月15日，滁州市人民政府發(fā)布了關于《安徽珂瑪材料技術有限公司半導體設備用碳化硅材料及部件項目環(huán)境影響報告表》受理公示。
圖片來源：滁州市人民政府官網公示截圖
安徽珂瑪材料技術有限公司計劃在滁州市中新蘇滁高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)蘇滁現代工業(yè)坊陸號廠房進行擴建，項目投資6542.42萬元，環(huán)保投資20萬元。
此次擴建項目將租賃蘇滁現代工業(yè)坊陸號廠區(qū)1號廠房，建筑面積5135平方米，購置碳化硅高溫燒結爐、碳化硅高溫滲硅爐、工藝舟開槽機、清洗及烘干設備、注漿成型生產線、數控磨床、數控車床、CNC加工中心等74臺套設備。項目新增半導體設備用碳化硅陶瓷部件11000件/年（約8噸/年），調漿工藝增加真空攪拌設備，使?jié){料調配更加均勻，進一步提高產品質量。
公開資料顯示，安徽珂瑪材料技術有限公司是蘇州珂瑪材料科技股份有限公司的子公司，成立于2022年11月，主要從事碳化硅晶舟、碳化硅爐管等高精密陶瓷部件以及各種專業(yè)設備的設計制造。
2023年，企業(yè)申報“高端裝備用先進陶瓷材料和部件生產項目”，于2023年6月2日取得中新蘇滁高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)建設房產環(huán)保局批復。該項目總投資12000萬元，租用蘇滁現代工業(yè)坊陸號廠區(qū)6號廠房，購置燒結爐、滲硅爐、造粒機、注漿機、擠出機、干燥機等設備，建設碳化硅陶瓷生產線。
項目建成后可年產290噸機械設備換熱防腐部件和10噸半導體設備用碳化硅陶瓷部件。目前，年產180噸機械設備換熱防腐部件和8噸半導體設備用碳化硅陶瓷部件生產裝置已建成，于2024年10月19日通過自主驗收并完成排污許可登記。由于6號廠房空間限制，剩余110噸機械設備換熱防腐部件和2噸半導體設備用碳化硅陶瓷部件生產線不再建設。
此次擴建項目將進一步提升安徽珂瑪在半導體設備用碳化硅陶瓷部件領域的生產能力，滿足市場對高精密陶瓷部件的不斷增長需求，推動半導體產業(yè)的發(fā)展。
在技術層面，珂瑪科技近年來取得了顯著進展。其超高純碳化硅套件產品純度高達99.99%，缺陷密度控制在每平方厘米不超過1個，技術指標達到國內領先水平。目前，6英寸產品已實現量產，并向北方華創(chuàng)等頭部客戶穩(wěn)定供貨；8英寸產品在客戶端的驗證工作基本完成，正在推進Fab端的量產應用；12英寸部件，如晶舟和隔熱片，也已進入設備驗證階段。
此外，7月22日，珂瑪科技擬以1.02億元現金收購蘇州鎧欣73%的股權。蘇州鎧欣在CVD碳化硅陶瓷零部件領域技術深厚，其產品已在Si外延、SiC外延、GaN外延等多個領域實現規(guī)模化應用，碳化硅刻蝕環(huán)、碳化硅噴淋頭、12英寸Si外延用碳化硅涂層石墨基座等先進產品的開發(fā)也取得了良好進展。
圖片來源：珂瑪科技公告截圖
同時，珂瑪科技位于江蘇蘇州的先進材料生產基地已正式投產，重點布局陶瓷加熱器、靜電卡盤及超高純碳化硅套件等“結構-功能”一體化模塊產品。在市場方面，珂瑪科技同樣表現強勁。2025年上半年，公司營業(yè)總收入達到5.2億元，同比增長35.34%；歸母凈利潤為1.72億元，同比增長23.52%。在全球半導體設備市場復蘇的背景下，公司來自國內外頭部半導體設備廠商的訂單持續(xù)增加。
（集邦化合物半導體 竹子 整理）
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