本屆灣芯展，新施諾榮獲“2025‘灣芯獎(jiǎng)’之卓越企業(yè)獎(jiǎng)”，該獎(jiǎng)項(xiàng)在深圳市人民政府、深圳市發(fā)展和改革委員會(huì)、中國(guó)國(guó)際工程咨詢有限公司的指導(dǎo)下，由行業(yè)領(lǐng)袖、權(quán)威學(xué)者及資深專家組成專業(yè)評(píng)審委員會(huì)，結(jié)合專業(yè)觀眾公開(kāi)投票綜合評(píng)選。

新施諾榮獲“2025‘灣芯獎(jiǎng)’之卓越企業(yè)獎(jiǎng)”

AMHS天車：晶圓制造廠物流升級(jí)的關(guān)鍵

隨著晶圓制造工藝向更高制程（如14nm以下節(jié)點(diǎn)）和更大尺寸（12英寸成為主流）演進(jìn)，晶圓廠對(duì)自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)（Automatic Material Handling System，AMHS）的需求大幅上升，對(duì)物流系統(tǒng)的效率、精度和穩(wěn)定性要求達(dá)到前所未有的高度。

屠杰在演講中指出：”12英寸晶圓廠已成為行業(yè)主流，其生產(chǎn)規(guī)模大、工藝復(fù)雜、對(duì)良率敏感性高，對(duì)AMHS天車系統(tǒng)提出了極致要求。”

銷售副總經(jīng)理屠杰在展會(huì)期間發(fā)表主題演講

針對(duì)12英寸晶圓廠在物流系統(tǒng)方面高潔凈度、高穩(wěn)定性、高效率傳送、高復(fù)雜度、低振動(dòng)以及全自動(dòng)化系統(tǒng)對(duì)接的需求，OHT系統(tǒng)憑借其卓越的性能，正成為晶圓制造廠物流自動(dòng)化方案的核心。

數(shù)據(jù)顯示，在12英寸晶圓制造過(guò)程中，單片晶圓需在數(shù)百臺(tái)設(shè)備間流轉(zhuǎn)，經(jīng)歷上千道工序，單次生產(chǎn)周期中晶圓傳輸里程超20公里；整廠OHT軌道總長(zhǎng)超50公里，每日需完成50萬(wàn)次以上運(yùn)輸任務(wù)，其復(fù)雜性堪比都市交通系統(tǒng)。 OHT系統(tǒng)已從輔助工具升級(jí)為晶圓廠的“神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)”，任何一次宕機(jī)都可能導(dǎo)致整廠停產(chǎn)，造成巨大經(jīng)濟(jì)損失。

屠杰指出：為打破高端半導(dǎo)體制造裝備長(zhǎng)期依賴進(jìn)口的局面，新施諾毅然肩負(fù)起OHT系統(tǒng)國(guó)產(chǎn)化的重任，目前已成功打造出高性能OHT解決方案，其OHT小車的技術(shù)規(guī)格已達(dá)到非常高的水準(zhǔn)：

• 速度與加速度：直線最高速度可達(dá)5.3m/s，轉(zhuǎn)彎最大速度可達(dá)1.0m/s，加速度、減速度分別可達(dá)2m/s2、3m/s2；
• 負(fù)載能力：標(biāo)準(zhǔn)負(fù)載能力為15kg（可定制最大負(fù)載50kg），可兼容標(biāo)準(zhǔn)的300mmFOUP、FOSB，200mmSMIF POD、CST，PLP600mm FOUP等載具；
• 定位精度：重復(fù)定位精度可達(dá)±1mm，確保與工藝設(shè)備端口（Load Port）的精準(zhǔn)對(duì)接；
• 可靠性：平均無(wú)故障時(shí)間（MTBF）在2000小時(shí)以上，系統(tǒng)可用性（Uptime）高達(dá)99.999%；
• 潔凈度：可在Class10的潔凈環(huán)境中運(yùn)行。

在本次灣芯展現(xiàn)場(chǎng)，新施諾展示了AMHS天車系統(tǒng)的實(shí)際運(yùn)行場(chǎng)景，吸引了眾多專業(yè)觀眾駐足觀摩。參觀者可近距離觀看OHT天車在軌道上的精準(zhǔn)運(yùn)行、晶圓載具的自動(dòng)裝卸等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，直觀感受智能物流裝備的技術(shù)實(shí)力與創(chuàng)新成果。

OHT系統(tǒng)是一個(gè)復(fù)雜的軟硬件集成系統(tǒng)，除了硬件系統(tǒng)，還有計(jì)算機(jī)集成制造系統(tǒng)（CIM）。新施諾在展位上也展示了OHT系統(tǒng)的軟件控制界面，包括物料搬送控制系統(tǒng)MCS、3D數(shù)字孿生系統(tǒng)DTS等核心功能，為行業(yè)同仁提供了直觀的國(guó)產(chǎn)化解決方案參考。

AMHS國(guó)產(chǎn)化實(shí)踐：從技術(shù)突破到行業(yè)引領(lǐng)

晶圓制造廠的物流系統(tǒng)是一項(xiàng)投資龐大、技術(shù)繁雜、周期漫長(zhǎng)的系統(tǒng)性項(xiàng)目，面臨著技術(shù)與管理規(guī)劃的嚴(yán)峻考驗(yàn)。目前，AMHS國(guó)產(chǎn)化仍面臨技術(shù)壁壘高、整廠部署驗(yàn)證難、復(fù)合型人才稀缺及核心零部件供應(yīng)鏈危機(jī)等多重挑戰(zhàn)。

當(dāng)前國(guó)產(chǎn)AMHS推廣的最大障礙之一，是缺乏大規(guī)模實(shí)際生產(chǎn)環(huán)境中的驗(yàn)證案例和現(xiàn)場(chǎng)運(yùn)行數(shù)據(jù)。同時(shí)，精密電機(jī)、高性能驅(qū)動(dòng)器、關(guān)鍵控制器等核心元器件仍嚴(yán)重依賴進(jìn)口，供應(yīng)鏈安全面臨挑戰(zhàn)，復(fù)合型技術(shù)人才的儲(chǔ)備也亟待加強(qiáng)。

面對(duì)挑戰(zhàn)，新施諾以“聚焦關(guān)鍵痛點(diǎn)，打造比較優(yōu)勢(shì)”為核心戰(zhàn)略，走出了一條務(wù)實(shí)而高效的破局之路。在技術(shù)創(chuàng)新方面，新施諾已實(shí)現(xiàn)OHT輕量化設(shè)計(jì)迭代，并在控制器架構(gòu)、技術(shù)路線及操作系統(tǒng)選擇上形成了獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，致力于打造更加穩(wěn)定、高效、可控的國(guó)產(chǎn)天車系統(tǒng)。

在生態(tài)建設(shè)上，新施諾始終堅(jiān)持開(kāi)放合作的理念，通過(guò)供應(yīng)鏈聯(lián)盟，深化與集成商的協(xié)同合作，推進(jìn)戰(zhàn)略合作與產(chǎn)業(yè)安全布局，實(shí)現(xiàn)資源共享、風(fēng)險(xiǎn)共擔(dān)、共同驗(yàn)證，推動(dòng)公司和全行業(yè)的進(jìn)階。

截至目前，新施諾已成功在國(guó)內(nèi)多個(gè)12英寸及8英寸晶圓廠完成AMHS系統(tǒng)的交付與部署。公司不僅提供高性能硬件設(shè)備，更通過(guò)自主研發(fā)的軟件系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)物流任務(wù)的智能調(diào)度、實(shí)時(shí)監(jiān)控與高效管理，全面保障系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行，賦能晶圓廠實(shí)現(xiàn)物流系統(tǒng)的智能化升級(jí)。

在12英寸先進(jìn)制程晶圓廠這一戰(zhàn)略高地，AMHS的國(guó)產(chǎn)化已不僅是技術(shù)能力的體現(xiàn)，更是保障半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全與自主可控的重要基石。展望未來(lái)，新施諾將繼續(xù)堅(jiān)持長(zhǎng)期主義，以客戶為中心，用創(chuàng)新技術(shù)賦能智能制造，助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展！

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