新型車載芯片有著巨大的市場潛力，但同時有著極高的性能和質量要求。微導與客戶深入配合進行產品和工藝開發(fā)，經過近三年的努力，采用微導ALD技術的新型車載芯片通過了各類嚴苛測試要求，有效提升芯片性能，增強器件穩(wěn)定性，延長芯片使用壽命，使電子產品能夠適應更加復雜多變的應用場景。同時，微導創(chuàng)新技術成功解決了批量生產的各類問題，滿足了大批量生產對成本的嚴格要求。

source：微導納米

微導聯席CTO、產業(yè)化應用中心總經理表示：“微導的技術團隊在沒有行業(yè)先例，沒有技術參照的情況下敢于探索，積極創(chuàng)新，針對歐盟地區(qū)對進口產品的嚴格要求，精心制造，充分準備，客戶對我們的設備一次性通過廠驗，順利實現發(fā)貨，開創(chuàng)了ALD技術在車載芯片封裝技術的全新應用?！?/p>

來源：微導納米

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微導納米表示，其已經完成2023年第三季度的初步核算工作。根據公司未經審計的財務數據，預計2023年前三季度累計實現營業(yè)收入約9.7億元至10.7億元，同比增長約151.91%至177.88%。

化合物半導體市場火熱帶動公司營收

微導納米以原子層沉積（ALD）技術為核心，主要從事先進微、納米級薄膜沉積設備的研發(fā)、生產和銷售，向下游客戶提供先進薄膜沉積設備、配套產品及服務。

從晶圓廠的投資構成來看，刻蝕設備、光刻設備、薄膜沉積設備是集成電路前道生產工藝中最重要的三類設備。

近年來，以SiC為代表的化合物半導體需求增長帶動設備需求增長，全球半導體設備市場呈現快速增長態(tài)勢，拉動市場對薄膜沉積設備需求的增加。

2022年12月23日，微導納米登陸科創(chuàng)板塊。自登陸科創(chuàng)板塊以來，該公司實現了多項ALD、CVD技術產業(yè)化的突破，并收獲了大量的訂單。

根據微導納米8月公布的2023年半年度報告來看，公司前半年營收3.82億元，同比增長145.53%；歸屬于上市公司股東的凈利潤0.69億元，扭虧為盈；扣非歸母凈利潤0.46億元。

圖片來源：拍信網正版圖庫

進軍化合物半導體設備領域

據了解，微導納米的產品率先用于光伏電池片生產過程中的薄膜沉積環(huán)節(jié)，隨后又開發(fā)了對技術水平和工藝要求更高的半導體薄膜沉積設備，已先后獲得多家知名半導體公司的商業(yè)訂單，并實現了國產ALD設備在28nm集成電路制造關鍵工藝（高介電常數柵氧層材料沉積環(huán)節(jié)）中的突破。

微導納米還與多家國內半導體廠商及驗證平臺簽署了保密協議并開展產品技術驗證等合作，針對國內半導體薄膜沉積各細分應用領域研發(fā)試制新型ALD設備。

去年，微導納米為國內某化合物半導體制造標桿企業(yè)定制的先進ALD裝備成功發(fā)貨，設備各項性能指標達到國際同行業(yè)標準，這標志著微導納米率先邁出國產ALD裝備進軍先進化合物半導體微納器件制造市場的堅實步伐。

今年7月，其自主研制的iTronix系列CVD薄膜沉積設備系列產品已成功發(fā)貨。該產品適用于制備氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、非晶硅等不同種類薄膜，可應用于邏輯、存儲、先進封裝、顯示器件以及化合物半導體等領域芯片制造。

據TrendForce集邦咨詢統計，按2022年應用結構來看，光伏儲能為中國SiC市場最大應用場景，占比約38.9%，接續(xù)為汽車、工業(yè)以及充電樁等。當然，汽車市場作為未來發(fā)展主軸，即將超越光伏儲能應用，其份額至2026年有望攀升至60.1%。

在以SiC為代表的化合物半導體獲得青睞的同時，不少企業(yè)開始加速在相關領域布局。微導納米今年加大研發(fā)投入，今年上半年已投入0.98億元進行新產品的研發(fā)，其中約50%投向了半導體領域，包括邏輯、存儲、新型顯示器、化合物半導體等項目。

在市場規(guī)模日漸擴大的情況下，先進化合物半導體微納制造技術不斷迭代更新，全球市場對ALD技術的需求也愈發(fā)顯著。

微導納米表示，目前，ALD與CVD設備國產化率仍處在非常低的水平，均有著非常廣闊的發(fā)展前景。
（文：化合物半導體Morty整理）

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截至收盤，微導納米漲13.38%，每股報27.45元，總市值達124.7億元。

1、寧德系資本2.2億元入股

微導納米以原子層沉積（ALD）技術為核心，主要從事先進微、納米級薄膜沉積設備的研發(fā)、生產和銷售，向下游客戶提供先進薄膜沉積設備、配套產品及服務。

2020年12月24日，微導納米股改后第二次增資引入了馮源繪芯、錦潤博納、聚隆景潤、問鼎投資、瑞庭投資。此次增資價格為每股147.48元，問鼎投資、瑞庭投資合計認購微導納米約149萬股，共出資約2.2億元。

其中，問鼎投資、瑞庭投資均為寧德系資本。寧德時代的實際控制人曾毓群、李平控制了問鼎投資100%的股權，瑞庭投資也為曾毓群實際控制，2021年1月瑞庭投資將所持有的微導納米股份被轉讓給瑞華投資，兩家公司均為曾毓群所實際控制的企業(yè)。

2、募資10億，擴大產能

2019年-2021年，微導納米分別實現營業(yè)收入21,581.56萬元、31,255.41萬元、42,791.71萬元。其中，專用設備是其最大的營收來源。據悉，微導納米的專用設備產品主要包括ALD設備、PECVD設備、PEALD二合一平臺設備。

其中，“基于原子層沉積技術的光伏及柔性電子設備擴產升級項目”擬基于公司現有ALD設備產線進行升級擴產，開發(fā)適用于光伏、柔性電子的ALD設備，新增年產120臺ALD設備的生產能力；

“基于原子層沉積技術的半導體配套設備擴產升級項目”擬基于公司現有ALD設備產線進行升級擴產，開發(fā)適用于半導體的ALD設備，新增年產40套ALD設備；

“集成電路高端裝備產業(yè)化應用中心項目”的建設則可以推動基于ALD技術的集成電路高端制造裝備產業(yè)化應用。

3、進軍先進化合物半導體ALD設備領域

據了解，微導納米的產品率先用于光伏電池片生產過程中的薄膜沉積環(huán)節(jié)，隨后又開發(fā)了對技術水平和工藝要求更高的半導體薄膜沉積設備，目前已先后獲得多家知名半導體公司的商業(yè)訂單，并實現了國產ALD設備在28nm集成電路制造關鍵工藝（高介電常數柵氧層材料沉積環(huán)節(jié)）中的突破。

微導納米還與多家國內半導體廠商及驗證平臺簽署了保密協議并開展產品技術驗證等合作，針對國內半導體薄膜沉積各細分應用領域研發(fā)試制新型ALD設備。

近日，微導納米為國內某化合物半導體制造標桿企業(yè)定制的先進ALD裝備成功發(fā)貨，設備各項性能指標達到國際同行業(yè)標準，這標志著微導納米率先邁出國產ALD裝備進軍先進化合物半導體微納器件制造市場的堅實步伐。

目前，先進化合物半導體以碳化硅、氮化鎵為代表，其應用已延伸至5G基建、新能源汽車等多個關鍵領域，迅速成為下一代半導體技術的戰(zhàn)略發(fā)展方向之一。在市場規(guī)模日漸擴大的情況下，先進化合物半導體微納制造技術不斷迭代更新，全球市場對ALD技術的需求也愈發(fā)顯著。

此次微導納米創(chuàng)新開發(fā)的專用于微納制造的先進ALD裝備，具備傳統薄膜沉積技術難以企及的原子級厚度精準控制、優(yōu)異的薄膜厚度均勻性以及高保形性等多項技術優(yōu)勢。（文：集邦化合物半導體 Amber整理）

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